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Mini/Micro-LEDAOI-Prüfgerät
COW/COTAOI wird für die optische Inspektion von Chips wie GaN-, GaAs- und InP-Chips eingesetzt und unterstützt die Prüfung von 4@-, 6@-, 8@- und 12@-Zoll-Wafern sowie von COT-Proben.
Klassifizierung:
AOI-Prüfgeräte
Keywords:
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Produktdetails
Gerätefunktion
- COW/COTAOI wird verwendet für Optische Prüfung von Chips wie GaN-, GaAs- und InP-Chips; unterstützt die Prüfung von 4@-, 6@-, 8@- und 12@-Wafern sowie von COT-Proben.
- Regelmäßige Tests: Elektrodenanomalie, Ablösung der Epitaxieschicht, Anomalien im Schneidkanal, Anomalien im Leuchtbereich, Restgold, Zweikristalle, Epitaxieanomalien
- Unterstützung für benutzerdefinierte oder verhandelte benutzerdefinierte Defektkategorien, minimale erfasste Defektgröße 0,5 µm.
- Tiefenlernsysteme und neuronale Netzwerkalgorithmen können Defektklassen präzise klassifizieren.
- Produktionskapazität (WPH) @3X Optik
3xCOW:4"@30mil,4"@8mil,6"@8mil,6"@4mil
3xCOT:4"@8mil, 4"@4mil
3xCOTD :4"@8mil, 4"@4mil, 6"@8mil, 6"@4mil
- Softwarefunktionen: Waferhandlingsteuerung, Statusanzeige, Sicherheitsverriegelung, Datenerfassung, Verarbeitung der Messergebnisse, Editierung und Verwaltung von Rezepten, Nachprüfung von Defekten (Review), grafische Benutzeroberfläche, Aufzeichnung des Gerätezustands
- Benutzerberechtigungen: Verfahrenstechniker, Anlagentechniker, Bediener
- Die Bin-Werte von Produkten können gemäß den Anforderungen der Nutzer definiert werden.
- Die Benutzer können die Prüfparameter und die Einstellung der Kartenkontrollnormen selbst festlegen.
Geräteparameter
- Gerätemaße: Länge 2300 mm × Breite 1800 mm × Höhe 1900 mm
- Gerätsgewicht: 1000 kg
- Nennspannung: AC/220 V/2P 50 Hz
- Nennleistung: 10 kW
- Druckluftdruck: 5–7 bar
- Qualifikationsquote: 99,5 %
- Geräusch: <60 dB
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